觸摸屏氣體流量控制器是一種測量氣體流量的儀表，其測量值不因溫度或壓力的波動而失準，不需要溫度壓力補償，可根據(jù)需要進行流量設定，自動地將流量恒定在設定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有變化，也不會使其偏離設定值?？梢缘乜刂茪怏w的給定量，這對很多工藝過程的流量控制，是用于對于不同氣體的比例控制。直接測量氣體的質量流量，輸出質量流量信號，不用其他設備?？梢缘臏y量微小流量，采用分流裝置，又可以測量大流量，而且溫度，壓力范圍很大。
流量控制器功能：
①流量設定：在閥控狀態(tài)下，以F.S滿量程為基準，設定范圍“0~110%F.S”(注：“0”-根據(jù)MFC不用，范圍可能是2~110%)。
?、诹髁孔x?。鹤詣幼x取實時流量值。
③清洗(清掃)：在安裝氣路過程中，方便清除管道內(nèi)的異物，確保管路的清潔。注：間斷使用，不可長時間使用。
?、荜P閉：實現(xiàn)MFC的關閉功能。注：間斷使用，不可長時間使用。
?、堇鄯e流量設定：控制一定總量的氣體，到想要的總量，自動關閉。在“流量設定”的某一個值下，設定氣體總量，實現(xiàn)總量控制。
?、薅〞r控制：某一設定流量下，在一定時間內(nèi)控制流量。
?、邔崟r流量記錄：查看氣體流量的記錄表?？梢杂肬盤存貯。
?、鄬崟r流量曲線：查看氣體流量的實時曲線。
?、岫鄽怏w種類的選擇。實現(xiàn)一個MFC控制多種氣體。
?、夥侄瘟髁靠刂疲簹怏w流量的曲線控制。
